Logosol 邊緣與預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 巡邊臺(tái) 光學(xué)儀器

聯(lián)系張經(jīng)理：I872I868549

Logosol經(jīng)久考驗(yàn)的技術(shù)和高可靠性的標(biāo)準(zhǔn)是其廣泛系列預(yù)對(duì)準(zhǔn)器的基礎(chǔ)。Prealigners產(chǎn)品家族支持處理45mm至480mm范圍內(nèi)的物體，無(wú)論其透明度從不透明到透明。Logosol獨(dú)特的集成設(shè)計(jì)和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺(tái)實(shí)現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

?? 二、主要產(chǎn)品系列及型號(hào)

LOGOSOL預(yù)對(duì)準(zhǔn)器按應(yīng)用場(chǎng)景分為三大系列：

1.LOGOSOL 邊緣處理系列（Edge-Grip）

• 技術(shù)特點(diǎn)：

• 被動(dòng)邊緣接觸技術(shù)，零機(jī)械應(yīng)力，避免晶圓損傷。

• 支持透明度從不透明到全透明的晶圓1。

• 適用尺寸：75mm–300mm晶圓。

• 典型型號(hào)：
  LPA6EH-3, LPA8EH-3, LPA68EH-3, LPA8ET-3, LPA12ET-3, LPA812EH-3。

• 應(yīng)用場(chǎng)景：碳化硅/氮化鎵晶圓制造、高潔凈度要求的化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線。

2. LOGOSOL獨(dú)立式系列（Standalone）

• 技術(shù)特點(diǎn)：

• 單機(jī)處理方形、雙層基板及圓形晶圓，支持45mm–480mm超大尺寸范圍。

• 無(wú)需機(jī)械重定位，通過(guò)軟件切換尺寸，提升柔性生產(chǎn)效率。

• LOGOSOL典型型號(hào)：
  LPA26-3, LPA38-3, LPA58-3, LPA312-3, LPA812-3, LPA1218-3。

• 應(yīng)用場(chǎng)景：研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、多尺寸晶圓試產(chǎn)線、光伏基板定位。

3. LOGOSOL嵌入式系列（Embedded）

Logosol 邊緣與預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 巡邊臺(tái) 光學(xué)儀器

• 技術(shù)特點(diǎn)：

• 專(zhuān)為高速晶圓傳輸系統(tǒng)優(yōu)化，低成本集成中心計(jì)算與角度定位功能。

• 提供高精度選件及定制夾具尺寸，兼容主流工業(yè)機(jī)器人。

• LOGOSOL典型型號(hào)：
  LPA25-1E, LPA38-1E, LPA58-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E。

• 應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備（如日立CD-SEM）、自動(dòng)化晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)改造

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